イナートガスオーブン
FN-430
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乾燥器関係 特注品例
イナートガスオーブンの御紹介


■外観


■用途
ウェハーの最終コーティング乾燥用。クリーンで低酸素濃度の環境で乾燥出来ます。
安全増仕様になっています。

■特長
クリーンなN2ガスを加熱して槽内に供給するため、ウェハーにゴミの付着が少なく、低酸素濃度下での乾燥ができます。また、N2ガスを常に供給しているため、コーティング剤の乾燥に使用しますと槽内の汚染が少なく、溶剤も排出されるため安全性も高くなっています。

■仕様
型  式 FN-430
方式 送風式(左吹き出し、水平)
使用温度範囲 室温+50℃〜400℃(常用350℃)
温度調節精度 ±1.0℃ at350℃ 無負荷時
温度分布精度 ±10℃ at350℃ 無負荷時
温度上昇時間 25℃→350℃ 約120分/25℃→400℃ 成り行き
無負荷時 N2ガス流量150L/min
温度調節器 マイクロコンピューターPID制御(TC−P IVシステム)
ガス加熱ヒーター インコロイシーズヒーター 1.5kW×3
運転機能 定値運転、タイマー運転(オートスタート、オートストップ、クーリング)、
16パターン99セグメントプログラム運転
送風ファン SUS製 シロッコファン
ダンパー 排気ダンパー
安全装置 自己診断機能、二重過熱防止装置、送風機過負荷防止装置、
温度ヒューズ、N2ガス加熱ヒーター保護装置、過電流・漏電ブレーカー
流量計 最大流量200L/min
酸素濃度計 ジルコニア式
内装 SUS304 全周アルゴン溶接
外装 電気亜鉛メッキ鋼板 メラミン樹脂焼き付け塗装
外形寸法(mm) W1,170×D1,105×H1,750(突起物除く)
内寸法(mm) W450×D450×H450
内容積 約91L
電源
(50Hz/60Hz)
AC三相200V 19A
付属品 記録計出力端子(4mA〜20mA)、耐震用固定金具、シグナルタワー
扉オートロック機構

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