| 型 式 | VO-67000A |
| 方式 | 直熱式 |
| 使用温度範囲 | 60℃〜200℃Max（常用170℃） |
| 温度調節精度 | ±1.0℃ at200℃ |
| 温度上昇時間 | 25℃→200℃ 約70分 無負荷時 |
| 使用真空度範囲 | 105Pa〜133Pa |
| 温度調節器 | マイクロコンピューターPID制御（TC-S IVシステム）K熱電対 |
| ヒーター | バンドヒーター 0.6kW×6 |
| デジタル圧力センサー デジタル表示 | |
| 運転機能 | 3パターン24セグメントプログラム運転 |
| 安全装置 | 自己診断機能、二重過熱防止装置、 温度ヒューズ、過電流・漏電ブレーカー |
| 観察窓 | 強化ガラスt15mm ポリカーボネート保護板付 |
| 内装 | 純チタン（JIS2種） |
| 外装 | 鉄骨組 電気亜鉛メッキ鋼板貼り メラミン樹脂焼き付け塗装 |
| 外形寸法（mm） | W820×D630×H1,580（突起物含まず） |
| 内寸法（mm） | W600×D400×H700 |
| 内容積 | 168L |
| 窓寸法 | W350mm×H350mm |
| バキューム口 | 外径φ20mm |
| パージ口 | Rc3/4 |
| 電源 （50Hz/60Hz） |
AC単相200V 19A |
| 付属品 | 棚板2枚（チタン製） |