電子工業・半導体 | 科学機器と濾紙・濾過システムの製造、販売

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電子工業・半導体

信頼性の高いADVANTEC製品は、クリーン性、微細化が求められている電子工業・半導体の分野でも使用されています。電子工業用カートリッジフィルターや、孔径が微細なナノ単位のカートリッジフィルターなど、数多くのラインナップをそろえています。

液晶・半導体向けレジスト濾過

フォトリソグラフィにおいて使用されるレジストの濾過にADVANTECのカートリッジフィルターは使用されています。半導体の微細化に伴って、レジストの解像度は年々上がっており、濾過に使用されるカートリッジフィルターもナノ単位にまで微細化を遂げています。クリーン性が高く、ナノ単位の孔径を持つオールポリエチレンカートリッジフィルター(TCE)は、レジスト濾過に使用される代表的なカートリッジフィルターになっております。

液晶ディスプレイ製造における洗浄水、薬液の濾過

液晶ディスプレイ製造における洗浄水や、各種薬液の濾過にADVANTECカートリッジフィルターが使用されています。電子工業用カートリッジフィルターであるTCS(E)-Eをはじめ、電子工業に特化したカートリッジフィルターを数多くラインナップしております。

現像液の濾過

ディスプレイ用カラーフィルタの製造工程において使用される、現像液の濾過にADVANTECのカートリッジフィルターが使用されています。現像液は、現像主薬を中心に、いくつかの薬剤を混ぜ合わせた溶液のため、耐薬品性に優れているTCFタイプ、TCPタイプのカートリッジフィルターが主に使用されております。

プリント配線基板の圧着工程

プリント配線基板などの電子部品を熱プレスする工程で、被プレス面に均一に圧力を加えるクッション材としてクッション紙が使用されています。信頼と実績のあるADVANTECのクッション紙は、多くのお客様にご使用いただいています。

CMPスラリー濾過

CMPスラリーは、半導体の製造工程でシリコンウェハーの表面を研磨する目的で使用されています。粗大粒子を含んだまま研磨を行ってしまうと、シリコンウェハーを傷つけてしまうことになるため、粗大粒子を確実に除去できる高品質なカートリッジフィルターが望まれています。ADVANTEC製品では、優れた耐薬品性を持つTCFタイプ、TCPタイプのカートリッジフィルターをはじめ、デプスタイプTCPDのカートリッジフィルターなど数多くラインナップしております。